Fabricación de Microestructuras

  • Darwin Rodríguez P.
  • Alejandro Godoy
  • Ruy Bonilla
  • Alba G Avila B
Palabras clave: Bobinas planas, foto-reducción, Transparencia foto-máscara, Educación

Resumen

Uno de los desafíos de la educación en microelectrónica es transmitir a los estudiantes los pasos básicos para la fabricación de dispositivos electrónicos. En este artículo se explica cómo el prototipado rápido de bobinas planas combina fabricación a partir de foto-máscaras, fotolitografía y grabado húmedo, y cómo puede ser utilizado para la formación a nivel de pregrado. Las foto-máscaras tienen bajos costos y se generan con diseños e impresión de patrones helicoidales diseñados usando Inkscape y Adobe InDesign, calcando en un papel fotográfico KODAK y haciendo uso de una cámara reductora DeVere. Tres parámetros son analizados para la transferencia de las geometrías en la fotomáscara y sobre un sustrato de Aluminio: factor de reducción de la cámara,
el tamaño de grano del papel Kodak y la calidad de la fotoimpresora de inyección. La fabricación de bobinas de aluminio submicrométricas se logra con la optimización de estos parámetros. La experiencia práctica en la fabricación del dispositivo afecta la capacidad de los estudiantes para comprender las interacciones entre la máscara, fabricación y diseño de dispositivos.

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Biografía del autor

Darwin Rodríguez P.

Rodríguez P. Darwin: Project Manager in nanotechnology at SENA (Servicio Nacional de Aprendizaje), Tecno Academias; Tecno Parques and Centros de Formación. Mr. Rodriguez is MSc in electronic and computing science with micro and nanotechnology emphasis at Universidad de los Andes, Bogotá Colombia. Throughout his career, he has worked in materials characterization using Atomic force microscopy, Scanning electron microscopy and fluorescence optical microscopy; also he has developed micro and nanofabrication techniques using Nanolithography platform, photolithography and soft lithography by PDMS.

Alejandro Godoy

Godoy, Alejandro: BSc Electronic engineering, expect graduation date August 2012.

Ruy Bonilla

Bonilla, Ruy: M.S from Cambridge University currently, He is a PhD student at Oxford University. His research interest includes SPM characterization and Photovoltaic.

Alba G Avila B

Avila B, Alba G: PhD degree In Physics from Cambridge University, England.

Currently, she is an associate Professor at the Department of Electrical and Electronic Engineering,  Universidad de los Andes. She was a visitor professor and scholar at The Semiconductor Research Corporation in 2005 and 2011-2012, National Taiwan University, Taipei in 2004, Cambridge University in 2007, Cornell University in 2008, Ohio State University in 2009, National Center of Microelectronics in 2010. She has won several awards IANAS fellowship in 2012, named one of Ten Outstanding Young Persons of World, Juniour Chamber International Colombian Chapter., 2005, Recipient of the Otto de Greiff Award for
Best Thesis in Physics in 1996, Science and Art Foundation junior award, Mazda 1998. She is founder of the Colombian micro and nanotechnology conferences and the science and Engineering women workshop.
Her interests are in thermal and electrical properties at nano scale, electrical characterization of nanostructures based on AFM and STM, NEMs and Synthesis and characterization of nanocomposite materials.

Citas

International Technology Roadmap for Semiconductors, (2012) http:// www.itrs.net/

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Alejandro Godoy, Alba Graciela Avila Bernal, (2011). “Fabricación de Máscaras para Procesos de Fotolitografía Usados en Procesos de Microelectrónica y Fabricación MEMS, Usando la Cámara Copiadora DeVere 480”, documento interno, Universidad de los Andes.

Publicado
2012-12-20
Cómo citar
Rodríguez P., D., Godoy, A., Bonilla, R., & Avila B, A. G. (2012). Fabricación de Microestructuras. Entre Ciencia E Ingeniería, 6(12), 14-18. Recuperado a partir de https://revistas.ucp.edu.co/index.php/entrecienciaeingenieria/article/view/645
Número
Vol. 6 Núm. 12 (2012)
Sección
Artículos
Derechos de autor 2019 Entre Ciencia e Ingeniería