Arias Mateus D, Salazar Enríquez C, Arango Arango P. Evolución del tamaño de cristalito y la Microdeformación en películas Delgadas de TiN. eci [Internet]. 24jun.2011 [citado 25abr.2024];5(9):94 -106. Available from: https://revistas.ucp.edu.co/index.php/entrecienciaeingenieria/article/view/698